Khí chuẩn ( standar gas)
Mô tả :
Specialty Gas Calibration Standards
| Fuel Gases | CH4、C2H2、CO、 |
| Welding Gases | Ar-He、Ar-H2、Ar-O2、Ar-CO2、CO2、O2、N2、H2 、Ar-He-CO2、Ar-He-N2、 |
| Liquid Gases | C2H4、SO2、CO2、NO2、N2O、C3F6、H2S、HCl、BCl3、BF3，SF6 |
| Calibration Gases | CH4-N2、NO-N2、H2S-N2、CO2-N2、SF6-N2、SiH4-He |
| Doping Gases | AsH3、PH3、GeH4、B2H6、AsCl3、AsF3、H2S、BF3、BCl3、 |
| Crystal growth | SiH4、SiHCl3、SiCl4、B2H6、BCl3、AsH3、PH3、GeH4、Ar、He、H2 |
| Gas phase etching | Cl2、HCl、HF、HBr、SF6 |
| Plasma etching | SiF4、CF4、C3F8、CHF3、C2F6、NF3、SF6、BCl3、N2、Ar、He |
| Ion Beam Etching | C3F8、CHF3、CClF3、CF4 |
| Ion implantation | AsF3、PF3、PH3、BF3、BCl3、SiF4、SF6、N2、H2 |
| CVD Gases | SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、NH3、NO、O2 |
| Diluent Gases | N2、Ar、He、H2、CO2、N2O、O2 |
| Doping Gases | SiH4、SiCl4、Si2H6、HCl、PH3、AsH3、B2H6、N2、Ar、He、H2 |
